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年產(chǎn) 140 噸高純磷烷、砷烷擴(kuò)產(chǎn)及砷烷技改項目可行性研究報告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院    2022-11-22

1、項目基本情況

項目名稱：年產(chǎn) 140 噸高純磷烷、砷烷擴(kuò)產(chǎn)及砷烷技改項目。

實施主體：全椒南大光電材料有限公司。

建設(shè)地點：全椒縣十字鎮(zhèn)十譚產(chǎn)業(yè)園新城大道 686-688 號。

建設(shè)內(nèi)容：本項目總投資 10,000 萬元，項目計算期共 8 年，其中建設(shè)期 1 年，生產(chǎn)期 7 年。本項目通過擴(kuò)產(chǎn)建設(shè) 2條高純磷烷產(chǎn)線、1 條高純砷烷產(chǎn)線， 新增磷烷年產(chǎn)能 70 噸、砷烷年產(chǎn)能 50 噸；利用原有 2 條砷烷產(chǎn)線進(jìn)行技改， 增加砷烷年產(chǎn)能 20 噸；通過擴(kuò)產(chǎn)和技改，本項目共計增加磷烷年產(chǎn)能 70 噸、 砷烷年產(chǎn)能 70 噸。

2、項目必要性

（1）電子特氣是集成電路領(lǐng)域的重要原材料

電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、 摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和 “源”。電子特種氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、平面顯示器 件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。伴隨著下游產(chǎn)業(yè)技術(shù)的快速迭代，電子特氣對純度和精度的要求持續(xù)提高，比如在純度方面，普通工業(yè) 氣體要求在 99.99%左右，但是在先進(jìn)制程的集成電路制造過程中，氣體純度要 求通常在 6N（99.9999%）以上。電子特氣對半導(dǎo)體器件性能好壞起到重要作用。

電子特氣在半導(dǎo)體制造的材料成本中占比為 13%左右，是半導(dǎo)體制造成本中僅次于硅片的第二大材料。 砷烷、磷烷廣泛應(yīng)用于集成電路、LED、高效太陽能電池、光通訊器件等 領(lǐng)域，主要用于集成電路制造的摻雜工藝和 LED 的化學(xué)氣相沉積工藝。作為半 導(dǎo)體領(lǐng)域加工制造過程中的關(guān)鍵材料之一，磷烷和砷烷的質(zhì)量和純度可直接影 響電子器件的良率和性能。因此，在半導(dǎo)體行業(yè)高速發(fā)展、國產(chǎn)自主化需求日益提升的背景下，磷烷、砷烷的自主產(chǎn)能擴(kuò)產(chǎn)具備必要性。

（2）高速增長的下游市場需求為磷烷、砷烷帶來擴(kuò)產(chǎn)的緊迫性

集成電路、LED 等電子工業(yè)市場的快速發(fā)展，帶動電子特氣市場規(guī)模不斷增大。集成電路行業(yè)在 5G 通訊、汽車電子、大數(shù)據(jù)、新能源、醫(yī)療電子、物 聯(lián)網(wǎng)、人工智能等為主新興應(yīng)用領(lǐng)域強(qiáng)勁需求的帶動下呈持續(xù)高速發(fā)展趨勢， 根據(jù) IC Insights 和思瀚產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)測，全球半導(dǎo)體行業(yè)市場規(guī)模到 2025 年預(yù)計達(dá)2,220 億美元，相比 2020 年的 1,430 億美元增長 55%；中國半導(dǎo)體制造總 額 2025 年達(dá) 432 億美元，相比 2020 年的 227 億美元增長 90%，復(fù)合增長率達(dá) 14%，高于全球增速。

同時，LED 行業(yè)雖整體已步入穩(wěn)健增長的成熟期，未來在新應(yīng)用和新技術(shù) 領(lǐng)域?qū)硇碌男枨?，未來隨著小間距 LED（Mini LED 和 Micro LED）興起， 為上游以磷烷、砷烷為代表的電子特氣提供了新的需求空間。

近年來，公司電子特氣領(lǐng)域的收入快速增加，下游需求旺盛，而公司磷烷、 砷烷的整體產(chǎn)能有限，產(chǎn)能利用率趨近于飽和狀態(tài)，亟需突破產(chǎn)能瓶頸，擴(kuò)大 生產(chǎn)能力。公司本次建設(shè)項目建成后，將擴(kuò)大面向集成電路及 LED 市場的高純 磷烷、砷烷的量產(chǎn)產(chǎn)能，更好地把握市場機(jī)遇。

3、項目可行性

（1）國家政策為電子特氣行業(yè)提供大力支持

半導(dǎo)體材料是集成電路制造的基石，具有重要的戰(zhàn)略意義，其中電子特氣 是半導(dǎo)體材料的重要組成部分。為推動電子特氣行業(yè)向精密、深化方向發(fā)展， 國家有關(guān)部門出臺了多項產(chǎn)業(yè)扶持政策。

2021年全國人大頒布的《中華人民共和國國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十四個五 年規(guī)劃和 2035 年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》（“十四五綱要”）強(qiáng)調(diào)“發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興 產(chǎn)業(yè)”，提出聚集以新材料等為代表的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，加快關(guān)鍵核心技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用，增強(qiáng)要素保障能力，培育壯大產(chǎn)業(yè)發(fā)展新動能。

2021年國家工信部頒布的《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2021 年 版）》，將集成電路用特種氣體等列為重點新材料。 2020 年 8 月，國務(wù)院印發(fā)《新時期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā) 展的若干政策》，給予集成電路設(shè)計、裝備、材料、封裝、測試企業(yè)和軟件企業(yè) 更有力度的稅收優(yōu)惠政策，進(jìn)一步優(yōu)化集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展環(huán)境。 積極的國家政策為電子特氣生產(chǎn)行業(yè)提供了良好的政策支持環(huán)境。

（2）公司是國內(nèi)少數(shù)具備磷烷、砷烷自主生產(chǎn)能力的企業(yè)

磷烷、砷烷是高純特種氣體中技術(shù)門檻和開發(fā)難度極高的兩個品種，曾長期處于海外技術(shù)封鎖中。同時因其易燃、劇毒、易爆等特征，從生產(chǎn)角度來說 合成到提純各個環(huán)節(jié)難度都較大。 公司是國產(chǎn)磷烷、砷烷制造的領(lǐng)軍企業(yè)，是國內(nèi)為數(shù)不多能夠自主研發(fā)和 量產(chǎn)高純磷烷、砷烷的企業(yè)之一。

公司自 2013 年承擔(dān)國家“02 專項”高純特 種電子氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目，于 2016 年形成高純電子特氣砷烷、磷烷產(chǎn)業(yè)化能力，產(chǎn)品純度達(dá)到 6N 級別，成功解決了這類特種電子氣體的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 難題，一舉打破了國外技術(shù)封鎖和壟斷，為我國極大規(guī)模集成電路制造、民族 工業(yè)振興提供了核心電子原材料。 因此，南大光電具備自主的磷烷、砷烷研發(fā)和生產(chǎn)能力，此次擴(kuò)建產(chǎn)能系 在現(xiàn)有產(chǎn)線的基礎(chǔ)上擴(kuò)建和改造，項目實施具備可行性。

（3）南大光電氫類電子特氣產(chǎn)品已獲國內(nèi)外主流客戶認(rèn)可

南大光電氫類電子特氣產(chǎn)品自 2016 年起開始推向市場并率先被 LED 客戶 廣泛接受，有效打破國外壟斷。經(jīng)過多年耕耘，公司氫類電子特氣產(chǎn)品在 LED 行業(yè)市場份額持續(xù)增長，貢獻(xiàn)了較好的銷售業(yè)績；同時氫類安全源電子特氣產(chǎn) 品在集成電路行業(yè)快速實現(xiàn)了產(chǎn)品進(jìn)口替代，得到了廣大客戶的高度認(rèn)可。目前公司產(chǎn)品已覆蓋中芯國際、長江存儲、華虹半導(dǎo)體、三安光電、乾照光電等 集成電路和 LED 領(lǐng)域的一線廠商，并進(jìn)入英特爾、歐司朗、飛利浦等國外一流 供應(yīng)商名錄。隨著合作關(guān)系的深入，公司一方面可以通過不斷滿足客戶的個性 化需求，強(qiáng)化客戶粘性；另一方面，公司又能對客戶需求進(jìn)行深入挖掘，實現(xiàn) 更多的產(chǎn)品導(dǎo)入，拓展業(yè)務(wù)機(jī)會。較高的市場認(rèn)可度進(jìn)一步提升公司電子特氣 業(yè)務(wù)增長空間。

4、項目經(jīng)濟(jì)效益分析

經(jīng)測算，本項目靜態(tài)投資回收期為 3.65 年，所得稅稅后項目財務(wù)內(nèi)部收益 率 32.46%，項目具有較好的經(jīng)濟(jì)效益。

5、項目相關(guān)備案及審批情況

2021 年 11 月 18 日，全椒縣經(jīng)濟(jì)和信息化局出具《全椒縣經(jīng)信局項目備案 表》，對本項目進(jìn)行備案，項目代碼：2111-341124-07-02-230977。 截至本可行性報告公告日，該項目的環(huán)評手續(xù)尚在辦理中。

此報告為正式報告摘取部分。需編制政府立項、銀行貸款、投資決策等用途可行性研究報告咨詢思瀚產(chǎn)業(yè)研究院。

來源： 思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 南大光電