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上海閔行臨港園區(qū)-高端半導(dǎo)體專用設(shè)備項(xiàng)目可行性研究報(bào)告
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院    2022-11-10

1、國家政策支持行業(yè)發(fā)展

為推動半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國際競爭力，進(jìn)一步促進(jìn)國民經(jīng)濟(jì)持續(xù)、快速、健康發(fā)展，近年來我國相繼推出了包括《中國制造2025》、《國家科技重大專項(xiàng)“十三五”發(fā)展規(guī)劃》、《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》等在內(nèi)的一系列鼓勵(lì)和支持半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策，為半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展?fàn)I造了良好的政策環(huán)境。

2020年8月4日，國務(wù)院發(fā)布的《新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策》，明確了集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件行業(yè)作為信息產(chǎn)業(yè)核心的重要地位，制定出臺財(cái)稅、投融資、研究開發(fā)、進(jìn)出口、人才、知識產(chǎn)權(quán)、市場應(yīng)用、國際合作等八個(gè)方面政策措施，以進(jìn)一步優(yōu)化集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境，深化產(chǎn)業(yè)國際合作，提升產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和發(fā)展質(zhì)量。

2021年2月4日，工業(yè)和信息化部電子信息司會發(fā)布關(guān)于《國家鼓勵(lì)的集成電路設(shè)計(jì)、裝備、材料、封裝、測試企業(yè)條件》的征求意見稿，進(jìn)一步貫徹落實(shí)《國務(wù)院關(guān)于印發(fā)新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策的通知》有關(guān)要求，優(yōu)化集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境。

2、把握區(qū)域產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢

2019年10月，上海臨港管委會發(fā)布了《中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)集聚發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)若干措施》，提出包括支持重大項(xiàng)目優(yōu)先布局、支持核心技術(shù)和產(chǎn)品攻關(guān)、支持企業(yè)規(guī)?；l(fā)展等在內(nèi)的十項(xiàng)政策措施，支持助力集成電路企業(yè)做大做強(qiáng)。近年來，上海市推動科技創(chuàng)新中心建設(shè)，在臨港新片區(qū)吸引了一大批涵蓋集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上下游的優(yōu)質(zhì)企業(yè)，逐漸形成集成電路產(chǎn)業(yè)集群。

為更好地完善公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提升公司的盈利能力和競爭實(shí)力，公司擬使用本次募集資金在上海臨港新片區(qū)建設(shè)上海臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，把握產(chǎn)業(yè)化集群優(yōu)勢和良好的營商環(huán)境，抓住區(qū)域發(fā)展協(xié)同機(jī)遇，進(jìn)一步做大做強(qiáng)公司主營業(yè)務(wù)。同時(shí)，公司下游客戶主要集中在長三角一帶，建設(shè)上海臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目有利于公司及時(shí)了解與快速響應(yīng)客戶潛在需求。

3、半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化需求旺盛

在需求拉動和國家支持下，我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈得以不斷完善，但目前我國半導(dǎo)體設(shè)備還主要依賴進(jìn)口。隨著近年經(jīng)濟(jì)逆全球化風(fēng)險(xiǎn)加大，解決半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“卡脖子”問題、實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控已迫在眉睫。根據(jù)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會數(shù)據(jù)顯示，2019年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率僅為17%，仍有較大國產(chǎn)替代空間。

近年來，受益于國家對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)投入，細(xì)分領(lǐng)域涌現(xiàn)一批優(yōu)秀本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商，使我國半導(dǎo)體制造體系和產(chǎn)業(yè)生態(tài)得以建立和完善。同時(shí)，隨著本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商產(chǎn)品競爭力的持續(xù)提升，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的需求將持續(xù)增長。公司生產(chǎn)的應(yīng)用于LED芯片制造、集成電路后道先進(jìn)封裝等領(lǐng)域的光刻工序涂膠顯影設(shè)備已在國內(nèi)一線大廠廣泛應(yīng)用。在集成電路前道加工領(lǐng)域，公司生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備及前道SpinScrubber清洗機(jī)設(shè)備已陸續(xù)獲得多家國內(nèi)Fab廠商的批量重復(fù)訂單，未來國產(chǎn)替代空間巨大。

3、項(xiàng)目基本情況

上海臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目位于上海閔行經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)臨港園區(qū)。本項(xiàng)目預(yù)計(jì)建設(shè)期為30個(gè)月，由公司全資子公司上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司實(shí)施。本項(xiàng)目計(jì)劃總投資額為64,000.00萬元，擬 投入募集資金47,000.00萬元，其余以自籌資金投入。

本項(xiàng)目建成并達(dá)產(chǎn)后，主要用于研發(fā)與生產(chǎn)前道ArF光刻工藝涂膠顯影機(jī)、浸沒式光刻工藝涂膠顯影機(jī)及單片式化學(xué)清洗機(jī)等高端半導(dǎo)體專用設(shè)備。

4、項(xiàng)目用地、涉及的審批、備案事項(xiàng)

公司已就上海臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目與中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)管理委員會、上海閔聯(lián)臨港聯(lián)合發(fā)展有限公司簽署《項(xiàng)目投資協(xié)議》。公司將在履行招拍掛等必要程序后正式取得土地使用權(quán)。

公司正在進(jìn)行項(xiàng)目備案的相關(guān)準(zhǔn)備工作，根據(jù)項(xiàng)目所在地監(jiān)管法規(guī)要求，公司將在取得土地使用權(quán)后辦理項(xiàng)目投資備案；公司正在開展環(huán)評相關(guān)工作，將于上述項(xiàng)目進(jìn)入建設(shè)階段前取得環(huán)評批復(fù)。

5、項(xiàng)目經(jīng)營前景

半導(dǎo)體設(shè)備市場需求持續(xù)增長

半導(dǎo)體設(shè)備市場與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣狀況緊密相關(guān)，2012年，受全球宏觀經(jīng)濟(jì)影響，半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展有所減緩，設(shè)備市場增長相應(yīng)受到抑制，2014年以來全球半導(dǎo)體市場開始復(fù)蘇。據(jù)國際半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）統(tǒng)計(jì)，2014年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售規(guī)模為375億美元，2019年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達(dá)到596億美元。

隨著下游電子、汽車、通信等行業(yè)需求的穩(wěn)步增長，以及物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算及大數(shù)據(jù)等新興領(lǐng)域的快速發(fā)展，集成電路產(chǎn)業(yè)面臨著新型芯片或先進(jìn)制程的產(chǎn)能擴(kuò)張需求，為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)帶來廣闊的市場空間。SEMI預(yù)計(jì)2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場銷售規(guī)模進(jìn)一步增長，達(dá)到689億美元，2021年將實(shí)現(xiàn)719億美元的銷售額，2022年將進(jìn)一步升至761億美元。

數(shù)據(jù)來源：SEMI

隨著國際產(chǎn)能不斷向我國大陸地區(qū)轉(zhuǎn)移，英特爾（Intel）、三星（Samsung）等國際大廠陸續(xù)在我國大陸地區(qū)投資建廠，同時(shí)在集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的引導(dǎo)下，我國大陸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)熱情高漲，我國大陸地區(qū)對半導(dǎo)體設(shè)備的需求巨大。

2016-2019年，我國大陸的半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模從64.6億美元增長至134.5億美元，三年復(fù)合增長率達(dá)28%。SEMI預(yù)計(jì)2020年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將達(dá)181億美元，同比增長34.6%，成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場。

集成電路前道涂膠顯影設(shè)備及單片式清洗設(shè)備需求持續(xù)旺盛作為集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的重要工藝設(shè)備，前道涂膠顯影設(shè)備以及單片式清洗設(shè)備在晶圓廠設(shè)備采購中占有十分重要的地位。近年來隨著全球晶圓廠設(shè)備采購的不斷推進(jìn)，全球前道涂膠顯影設(shè)備及單片式清洗設(shè)備銷售額整體呈現(xiàn)增長態(tài)勢。

根據(jù)VLSI提供的行業(yè)數(shù)據(jù)，全球前道涂膠顯影設(shè)備銷售額由 2013年的14.07億美元增長至2018年的23.26億美元，年均復(fù)合增長率達(dá)10.58%，預(yù)計(jì)2023年將達(dá)到24.76億美元；國內(nèi)市場（含中國臺灣地區(qū)）將成為最重要的增長來源，預(yù)計(jì)2023年銷售額將達(dá)到10.26億美元。全球前道單片式清洗設(shè)備銷售額由2013年的16.31億美元增長至2018年的22.69億美元，年均復(fù)合增長率達(dá)6.83%，預(yù)計(jì)2023年將達(dá)到23.14億美元；國內(nèi)市場（含中國臺灣地區(qū)）前道單片式化學(xué)清洗設(shè)備2023年銷售額將達(dá)到7.26億美元。作為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體涂膠顯影設(shè)備及清洗設(shè)備制造商，公司通過本次募集資金投資項(xiàng)目的實(shí)施對前道涂膠顯影設(shè)備及單片式化學(xué)清洗設(shè)備產(chǎn)能進(jìn)行擴(kuò)充，將更好的滿足市場需求。

半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代進(jìn)程加速

在國家支持和需求拉動下，我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈得以不斷完善，半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了由弱到強(qiáng)的巨大轉(zhuǎn)變。公司生產(chǎn)的應(yīng)用于集成電路后道先進(jìn)封裝等領(lǐng)域的光刻工序涂膠顯影設(shè)備已在國內(nèi)一線大廠廣泛應(yīng)用。在集成電路前道加工領(lǐng)

域，公司生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備已陸續(xù)獲得了上海華力、中芯紹興、廈門士蘭集科、上海積塔、株洲中車、青島芯恩、中芯寧波、昆明京東方等多個(gè)前道大客戶訂單及應(yīng)用。公司生產(chǎn)的前道SpinScrubber清洗機(jī)設(shè)備已在中芯國際、上海華力、廈門士蘭集科等多個(gè)客戶處通過工藝驗(yàn)證，并已獲得國內(nèi)多家Fab廠商的批量重復(fù)訂單。

但目前我國半導(dǎo)體設(shè)備還主要依賴進(jìn)口，仍有較大國產(chǎn)替代空間。通過資金投資項(xiàng)目的實(shí)施，公司后道先進(jìn)封裝及前道設(shè)備生產(chǎn)能力得到提升，有利于滿足下游廠商對進(jìn)口設(shè)備的快速替代進(jìn)程。