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MEMS射頻器件行業(yè)發(fā)展態(tài)勢及未來趨勢
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 中芯集成    2023-05-05

MEMS 射頻器件 （RF MEMS）是 MEMS 技術的重要應用領域之一。

MEMS 射頻器件用于射頻和微波頻率電路中的信號處理，是一項將能對現(xiàn)有雷達和通訊中射頻結構產(chǎn)生重大影響的技術。

隨著信息時代的來臨，在無線通信領域，特別是在移動通信和衛(wèi)星通信領域，正迫切需要一些低功耗、超小型化且能與信號處理電路集成的新型器件，并希望能覆蓋包括微波、毫米波和亞毫米波在內(nèi)的寬頻波段。采用 MEMS 技術制造的無源器件能夠直接和有源電路集成在同一芯片內(nèi)，實現(xiàn)射頻系統(tǒng)的片內(nèi)高集成，消除由片外分立元件帶來的寄生損耗，真正做到系統(tǒng)的高內(nèi)聚、低耦合，能顯著提高系統(tǒng)的性能。

MEMS 技術在射頻領域的應用可分為可動的和固定的兩類?？蓜拥?MEMS器件包括開關、調(diào)諧器和可變電容，固定的 MEMS 器件包括本體微機械加工傳輸線、耦合器和濾波器。其中，濾波器是射頻前端的關鍵核心器件之一，約占整個射頻前端市場超過 60%的份額。根據(jù) Yole 統(tǒng)計，2020 年 MEMS 射頻器件的市場規(guī)模為 21 億美元，預計 2026年市場規(guī)模將達到 40 億美元。