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電子特種氣體市場規(guī)模和集中度情況、主要供應(yīng)商及國產(chǎn)化率
思瀚產(chǎn)業(yè)研究院 中巨芯    2023-09-01

①市場規(guī)模

根據(jù)電子材料市場研究機(jī)構(gòu) Techcet 數(shù)據(jù)，2020 年全球電子特種氣體市場規(guī)模為 41.9 億美元，預(yù)計在 2025 年將超過 60 億美元，年復(fù)合增速 7.5%左右。未來 3-5 年，先進(jìn)邏輯芯片、高端存儲芯片、顯示面板是電子特種氣體市場增長的主要驅(qū)動力。

隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈持續(xù)向中國大陸轉(zhuǎn)移，我國電子特種氣體市場增長速度遠(yuǎn)高于全球增速。2020 年，我國電子特種氣體市場規(guī)模達(dá)到 173.6 億元，2013-2020 年復(fù)合增長率為 15%。在具體的下游應(yīng)用中，集成電路及器件占比44.2%、顯示面板占比 34.7%、太陽能及 LED 等占比 21.1%。

參考國內(nèi)及全球下游行業(yè)增速，據(jù) SEMI 及江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會測算，至2023 年，我國電子特種氣體市場總規(guī)模將達(dá)到 238 億元，市場總規(guī)模較大，增長迅速。其中集成電路及器件占比 42.02%；顯示面板占比 33.61%；太陽能及 LED等占比 24.37%。

②市場集中度情況、主要供應(yīng)商及國產(chǎn)化率

全球電子特種氣體市場集中度很高，美國空氣化工、愛爾蘭林德集團(tuán)、法國液化空氣和日本太陽日酸四大國際領(lǐng)先企業(yè)的全球市場份額為 91%，在中國大陸市場，上述四大國際領(lǐng)先企業(yè)占據(jù)了 88%的市場份額，總體市場集中度高，國產(chǎn)化率仍較低。

國內(nèi)電子特種氣體起步于 20 世紀(jì) 80 年代，在半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展的帶動下，經(jīng)過多年的技術(shù)發(fā)展和生產(chǎn)經(jīng)驗沉淀，中巨芯、派瑞特氣、南大光電、華特氣體、金宏氣體、雅克科技等企業(yè)在部分電子特種氣體產(chǎn)品的關(guān)鍵技術(shù)上取得了突破性進(jìn)展，部分產(chǎn)品可以達(dá)到國際通行標(biāo)準(zhǔn)。

根據(jù)中國半導(dǎo)體支撐業(yè)發(fā)展?fàn)顩r報告（2021 年編）數(shù)據(jù)，通過不斷的經(jīng)驗積累和技術(shù)進(jìn)步，國內(nèi)企業(yè)已經(jīng)初步具備批量生產(chǎn)集成電路制造用主要電子氣體的能力。

例如：離子注入氣體方面，安全源砷化氫（AsH3）、磷化氫（PH3）、三氟化硼-11（11BF3）已經(jīng)大批量供貨。成膜氣體方面，六氟化鎢（WF6）、氨氣（NH3）、一氧化氮（NO）和乙硼烷（B2H6） 混合氣等氣體品種已批量應(yīng)用于 8 英寸、12 英寸集成電路生產(chǎn)線；刻蝕/清洗氣體方面，多家公司的三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、全氟丁二烯（C4F6）、八氟環(huán)丁烷（C4F8）、三氟甲烷（CHF3）、氟甲烷（CH3F）、六氟化硫（SF6）、一氧化碳（CO）、氯化氫（HCl）、氯氣（Cl2）、三氯化硼（BCl3）已能夠穩(wěn)定批量供應(yīng)。

但與境外領(lǐng)先氣體集團(tuán)相比，大部分境內(nèi)氣體公司的供應(yīng)產(chǎn)品較為單一，產(chǎn)品級別不高，尤其在集成電路、顯示面板等高端應(yīng)用領(lǐng)域仍主要依賴國外進(jìn)口。